人民網(wǎng)西安1月12日電（李志強(qiáng)）1月12日，陜西光電子先導(dǎo)院先進(jìn)光子器件創(chuàng)新平臺(tái)舉行了核心設(shè)備搬入儀式。作為陜西省2022年重點(diǎn)建設(shè)工程，先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)依托“追光計(jì)劃”頂層設(shè)計(jì)，聚焦光子制造、光子芯片、光子傳感三大重點(diǎn)領(lǐng)域，形成了光子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的陜西模式。

技術(shù)人員介紹平臺(tái)概況。先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)供圖

先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)占地30畝，建設(shè)中試車間、中試大樓、綜合樓和動(dòng)力站等研發(fā)中試配套設(shè)施，總建筑面積約3萬(wàn)平方米，潔凈廠房3000平方米，一期專業(yè)設(shè)備86余臺(tái)（套），具備以GaAs、GaN為主線，圍繞6英寸化合物芯片工藝服務(wù)能力的柔性中試平臺(tái)，可為光子產(chǎn)業(yè)孵化項(xiàng)目提供產(chǎn)品研發(fā)、中試、檢測(cè)等全流程技術(shù)服務(wù)。

平臺(tái)將技術(shù)服務(wù)模式（20%）+工程代工模式（80%）的結(jié)合，為光子產(chǎn)業(yè)各類創(chuàng)新主體，打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場(chǎng)化批量供貨的完整鏈條，解決當(dāng)前行業(yè)中小型創(chuàng)新企業(yè)流片困難的問(wèn)題。通過(guò)與創(chuàng)新企業(yè)持續(xù)進(jìn)行聯(lián)合研發(fā)，光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項(xiàng)核心工藝技術(shù)不斷攻克，平臺(tái)軟硬件建設(shè)不斷完善，未來(lái)平臺(tái)將持續(xù)助力光子產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)聚集。

濕法設(shè)備。先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)供圖

同時(shí)，先進(jìn)光子器件工程創(chuàng)新平臺(tái)將有效解決第三代化合物半導(dǎo)體芯片卡脖子環(huán)節(jié)中的外延生長(zhǎng)與制程問(wèn)題，為客戶提供芯片制造環(huán)節(jié)中的全流程服務(wù)（如外延生長(zhǎng)、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等）。其客戶主要集中在光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設(shè)計(jì)企業(yè)、高校、科研院所等。

據(jù)了解，該平臺(tái)建成后將吸引更多光子產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新要素匯聚陜西，為國(guó)家攻關(guān)一批解決“卡脖子”并引領(lǐng)未來(lái)的關(guān)鍵核心技術(shù)，培育一批具有先發(fā)優(yōu)勢(shì)和全球競(jìng)爭(zhēng)力的光子產(chǎn)業(yè)冠軍企業(yè)，推動(dòng)光子產(chǎn)業(yè)集群化、規(guī)?；?、高產(chǎn)值化發(fā)展。

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